9月初以来，整体科技板块开启了轮动行情，科技各个细分赛道轮流获得资金关注，而面对这类行情，较好的应对方法是选择产业端增长趋势较为明确、成长空间较大的细分赛道持续持有，而不是不断切换资金热点，以避免择时上的磨损。而在近期的科技细分板块表现中，半导体设备及人形机器人是两个市场关注的重点板块，在市场上寻找纯度较高的ETF进行持有，或将持续受益于本轮行情。

首先，半导体设备近期吸引了大量市场资金的关注，在9月24日半导体设备ETF易方达（159558）接近涨停，同时截至9月29日已实现日线六连阳，这反映了市场对我国半导体设备后续发展空间的持续看好。而这背后的原因，主要与近期持续的半导体设备国产化进展有关，随着半导体设备的国产化率持续提升、以及高端芯片应用场景持续丰富，我国需要越来越多半导体产线提供支持，而产线投资的最主要资金流向就是半导体设备，因此带来了较高的业绩确定性与成长性。

半导体设备国产化、高端需求扩张这两个逻辑，近期皆能看到事件催化：

1）设备国产化率提升：目前中国大陆半导体设备市场广阔，但价值量较大的设备（如刻蚀设备、沉积设备、光刻机等）国产化率却较低，但近期据媒体报道，国内头部晶圆代工厂商正在测试国产浸没式DUV光刻机，未来有望采用“多重曝光”技术生产先进芯片。而针对刻蚀设备和沉积设备。

2）高端芯片需求扩张：一方面体现在AI芯片，此前国产芯片的需求主要集中在消费、工业、汽车等领域，主要以成熟支撑为主，但随着华为昇腾等国产AI芯片发布，先进芯片将成为国产芯片的新驱动因素。另一方面体现在我国国产存储芯片上，过去存储芯片市场主要由韩国的三星和海力士，以及美国的美光公司所占领，但近年来以长鑫存储和长江存储为代表的中国存储芯片厂商取得了长足进步，随着龙头公司未来上市融资带来的产线扩张，半导体设备有望迎来新的增长。

而除了半导体设备外，人形机器人赛道也同样吸引了市场资金的关注，这主要与25Q4即将迎来产业拐点有较大关系。回想今年6月，人形机器人行业的重要客户特斯拉延后了需求订单，主要与量产版本机器人的重新设计有关，而这新一代人形机器人有望在今年Q4设计完成，并随之带来订单的恢复，市场对这一节点的押注愈加明显。9月27日，马斯克于X平台透露特斯拉正全力推进Optimus机器人的规模化生产，或表明该项目正向量产准备阶段迈进。因此，尽管过去人形机器人涨幅较为亮眼，但真正的产业催化实际上将集中在Q4，当前或为布局该板块Q4行情的重要窗口。

总的来说，综合考虑产业空间、发展节奏等，半导体设备和人形机器人有望成为科技Q4的重要细分赛道，普通投资者可以通过分别选取两只纯度较高的ETF来进行配置，如半导体设备ETF易方达（159558，场外联接A类：021893；C类：021894）及机器人ETF易方达（159530，场外联接A类：020972；C类：020973），二者对上述两个赛道的行业纯度较高。虽然在行情演绎过程中，有一部分公司同时涉及了机器人和半导体设备的业务，但这类公司业务不够专注、本身市值不太大、权重不高，往往不会是最为受益的标的，因此我们在进行这两个赛道的投资时，更合适的方法是同时布局两个纯度较高的行业主题ETF，这样能更好地布局核心重点公司。

其中，截至2025年9月28日，半导体材料设备指数在半导体设备行业的权重高达59%，半导体材料权重为23.4%，合计超过80%，纯度较高。而人形机器人方面，截至2025年9月28日，机器人ETF易方达（159530）国证机器人产业指数人形机器人占比高达78%，高于同类指数的63%，是更纯的人形机器人指数（按照万得人形机器人主题指数）。二者结合的策略，将会是25Q4布局科技细分赛道的重要选择之一。

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